El riesgo químico en la industria de los semiconductores

Los semiconductores son materiales que presentan una conductividad eléctrica intermedia entre los metales y los aislantes.

La industria de los semiconductores es esencial para el ámbito de la electrónica ya que estos compuestos ofrecen la posibilidad de controlar, por diversos medios, tanto la cantidad de la corriente eléctrica susceptible de atravesarlos como la dirección que puede tomar esa corriente. Los aparatos semiconductores son imprescindibles para el funcionamiento de numerosos aparatos modernos y son productos claves en los sistemas electrónicos.

Riesgo químico

La industria de los semiconductores utiliza productos químicos líquidos en numerosas aplicaciones tales como la fabricación de chips y el crecimiento de cristales. Las exigencias de producción de esa industria de Alta Tecnología imponen la instalación masiva de salas blancas para los distintos procesos de fabricación y de tratamientos entre los cuales tratamientos químicos. La química húmeda es una de las etapas tecnológicas más importantes en la realización de los dispositivos.

La química de los semiconductores trata principalmente del tratamiento químico por solventes y del ataque ácido-básico de los semiconductores

• Química de los solventes: los principales productos químicos utilizados durante esta fase son el tricloroetileno, la acetona, el isopropanol pero incluso otros alcoholes tal como el etanol desnaturalizado. Las aplicaciones típicas son la limpieza, el desengrase de los semiconductores y quitar las resinas residuales (acetona).
• Química de los ácidos y de las bases: los agentes químicos ácidos utilizados pueden ser el ácido sulfúrico, nítrico, ortofosfórico, clorhídrico, bromhídrico o cítrico. A veces, las soluciones creadas asocian una base (oxidando el semiconductor) con un ácido (que ataca ese oxido): peróxido de hidrógeno, hidróxido de amonio, hidróxido de sodio o hidróxido de potasio (se utiliza principalmente para el ataque del silicio). Los ácidos y las bases se utilizan en gran parte para realizar ataques de semiconductores o para efectuar preparaciones (desoxidación) y regeneraciones de superficie. Algunos ácidos utilizados pueden ser a veces corrosivos y tóxicos como el ácido fluorhídrico, las mezclas que contienen iodo, bromo o iones bromuro.

Caso particular del ácido fluorhídrico

En la industria electrónica y particularmente la de los semiconductores, el ácido fluorhídrico es el producto clave en la fabricación de compuestos a base de silicio. Su capacidad para atacar el óxido de silicio y transformarlo en un compuesto soluble constituye la base de numerosas aplicaciones para la limpieza y el grabado. El ácido fluorhídrico se utiliza en asociación con el ácido nítrico para grabar silicio mezclado con una solución de fluoruro de amonio, incluso diluido como agente de limpieza y para quitar los óxidos residuales.